| 型号 | TK-630 |
| 入口直径(mm) | 630 |
| 抽气速度(L/S) | 18500 |
| 极限压力（Pa） | 7×10⁵ |
| 最大排气压力（Pa） | 40 |
| 注入油量(L) | 8 |
| 加热功率(KW) | 11 |
| 泵业反流率(mg/cm2.min) | ≤3×10^-2 |
| 加热时间(min) | ≤65 |
| 冷却水量(L/h) | 850 |
金属油扩散泵TK-630
金属油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸汽射流抽气的真空泵，是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟实验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
